Вакуумная печь термообработки и/или газофазного осаждения (CVI/CVD) элеваторного типа (с опускающимся подом)

Вакуумная система

• Предельная глубина вакуума – до 0,005 Па.
• Опционально может быть адаптирована для работы с химически агрессивными газами (щелочи/кислоты).
• Имеет ручную и автоматическую системы управления и поддержания заданного давления в реакционной зоне.
• Может быть спроектирована и изготовлена по ТЗ заказчика.

Тепловой блок

• Нагреватели из высокоплотного графита. Предельная температура нагрева – до 2500 ^оС.
• Теплоизоляция из композитных материалов обеспечивает повышенную энергоэффективность.
• Обеспечивает стабильность температуры до +- 5 ^оС по объему реактора.

Корпус реактора

• Изготавливается из нержавеющей стали. В зависимости от обрабатываемых материалов применяются 12Х18Н10Т или 304, 316, 322 стали.

Периферийные системы

• Система управления программируется индивидуально по ТЗ заказчика.
• Системы датчиков имеют поверку и входят в перечень средств измерений РФ, что позволяет ориентироваться на них при верификации технологических процессов.
• По требованию заказчика возможна установка полиграфа, записывающего параметры системы в реальном времени.
• Система охлаждения, в зависимости от требований, может быть замкнутой (с использованием чиллера, драй-куллера и пр.) или привнесенной (оборотная вода заказчика).

Вакуумная печь термообработки и/или газофазного осаждения (CVI/CVD) шахтного типа (открывающаяся крышка)

Вакуумная система

• Предельная глубина вакуума – до 0,005 Па.
• Возможно применение масляных и без масляных насосов.
• Может быть спроектирована и изготовлена по ТЗ заказчика.

Тепловой блок

• Нагреватели из высокоплотного графита. Предельная температура нагрева – до 2500 ^оС.
• Теплоизоляция из композитных материалов обеспечивает повышенную энергоэффективность.
• Обеспечивает стабильность температуры до +- 5 ^оС по объему реактора.
• Может быть спроектирована и изготовлена по ТЗ заказчика.

Корпус реактора

• Изготавливается из нержавеющей стали 12Х18Н10Т.

Доступные габаритные размеры рабочей зоны от ⌀100 h200 до ⌀1800 h 2200 мм

Периферийные системы

• Система управления собственной разработки. Корректируется индивидуально под ТЗ заказчика.
• Системы датчиков имеют поверку и входят в перечень средств измерений РФ, что позволяет ориентироваться на них при верификации технологических процессов.
• По требованию заказчика возможна установка полиграфа, записывающего параметры системы в реальном времени.
• Система охлаждения, в зависимости от требований, может быть замкнутой (с использованием чиллера, драй-куллера и пр.) или привнесенной (оборотная вода заказчика).

Лабораторные CVD трубчатые печи

Вакуумная система

• Предельная глубина вакуума – до 0,005 Па.
• Возможно применение масляных и безмасляных насосов. Адаптация системы под обрабатываемые газы (материалы).

Корпус реактора

• Может быть изготовлен из кварцевого стекла или нержавеющей стали.

Тепловой блок

• Может быть изготовлен для температур от 600 до 2500 ^оС

Газовакуумная система изготавливается по ТЗ заказчика в зависимости от применяемых газов и их количества.

Доступные габаритные размеры от ⌀50 h150 до ⌀300 h 1000 мм.

Периферийные системы

• Система управления программируется индивидуально по ТЗ заказчика.
• Системы датчиков имеют поверку и входят в перечень средств измерений РФ, что позволяет ориентироваться на них при верификации технологических процессов.
• По требованию заказчика возможна установка полиграфа, записывающего параметры системы в реальном времени.
• Система охлаждения, в зависимости от требований, может быть замкнутой (с использованием чиллера, драй-куллера и пр.) или привнесенной (оборотная вода заказчика).

Печи пиролиза и карбонизации

Газо-вакуумная система

• Предельная глубина вакуума – до 0,005 Па.
• Возможность проведения процессов при атмосферном давлении, в газовом протоке, в вакууме.
• Может быть спроектирована и изготовлена по ТЗ заказчика.

Тепловой блок

• Предельная температура нагрева – до 2000 ^оС.
• Теплоизоляция из композитных материалов обеспечивает повышенную энергоэффективность.
• Обеспечивает стабильность температуры до +- 5 ^оС по объему реактора.

Корпус реактора

• Изготавливается из нержавеющей стали 12Х18Н10Т.

Доступные габаритные размеры от ⌀50 h150 до ⌀2000 h 2500 мм.

Периферийные системы

• Система дожигания выхлопных газов обеспечивает чистоту и экологичность работы оборудования.
• Системы датчиков имеют поверку и входят в перечень средств измерений РФ, что позволяет ориентироваться на них при верификации технологических процессов.
• По требованию заказчика возможна установка полиграфа, записывающего параметры системы в реальном времени.
• Система охлаждения, в зависимости от требований, может быть замкнутой (с использованием чиллера, драй-куллера и пр.) или привнесенной (оборотная вода заказчика).